台積電為節約用水，10多年來研發廢水回收再製成純水，目前已成功回收9成廢水再利用。台積電新廠規劃暨工程處長莊子壽表示，台積電研發多年的回收技術願毫不保留公開，協助一般企業有效改善廢水處理。
莊子壽指出，台積電目前14個廠區每廠廢水回收設備設置各要1.5億元，並有上百名相關技術專業工程技師，花費龐大，但99年就節省用水達3466萬公噸，相當30萬人口的1年用水量，每年省水超過3000萬噸，最快3年就能打平投入設備花費，「真的很值得」。
台積電表示，過去4年已有80多個學校、廠商與機關3000人到各廠廢水處理中心參觀研習，未來持續推動，並將技術提供給需要的企業。